Die SiC-Gruppe ist einer der weltweit
führenden Dienstleister im Bereich der
nassmechanischen Trenntechnik für
die Waferindustrie einschließlich logi-
stischer Lösungen. Sie hat sich auf die
Aufbereitung von Sägesuspensionen,
die bei der Waferherstellung für die
Photovoltaik-Industrie sowie für die
Halbleiter-Industrie verwendet werden,
spezialisiert. Bei der Sägesuspension
handelt es sich um ein dickflüssiges
Gemisch, bestehend aus dem festen
Wertstoff Siliziumcarbid und dem
flüssigen Wertstoff Glykol.
Im Wafer-Sägeprozess dient Silizium-
carbid als Sägehilfsmittel, das auf den
Sägedraht aufgetragen wird, um ihm
die notwendige spezifische Härte zum
Sägen der Wafer zu verleihen, und
Glykol als Trägermittel für das Silizium-
carbid und als Kühlmittel. Die verwen-
dete Sägesuspension muss nach
mehrmaliger Anwendung ausgewech-
selt und entweder entsorgt oder auf-
bereitet werden. |